達到特定的無塵室/ 潔淨室等級不僅需要清潔的物理設計(非顆粒材料等),還需要清潔、過濾的空氣流,足以稀釋現有的顆粒物並將“臟”空氣排出受控空間。
風扇過濾器單元 (FFU) 以大約每分鐘 90 到 110 英尺的速度提供氣流,速度足夠快以產生層流,但速度足夠慢以防止過度湍流。
假設一個潔淨的物理設計,氣流決定了無塵室/ 潔淨室的設計潔淨度。就每小時換氣量而言,無塵室/ 潔淨室等級、ISO 標準和一般建議如下:
無塵室/ 潔淨室等級是指每立方英尺直徑 >= 0.5 μm 的顆粒數。例如,1,000 級無塵室/ 潔淨室平均每立方英尺空間可包含多達 1,000 個顆粒。
好消息是,簡單地添加 FFU 通常可以降低無塵室/ 潔淨室等級(使其更清潔)。當然,這假設無塵室/ 潔淨室的天花板網格空間未被燈光、FFU 或配電模塊佔據。
實際顆粒物水平是通過在整個無塵室/ 潔淨室的各個點使用顆粒計數器獲取一組讀數來測量的。
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