潔淨室/無塵室根據每體積空氣允許的顆粒數量和大小進行分類。像“100 級”或“1000 級”這樣的大數字是指 FED-STD-209E,表示每立方英尺空氣中允許的 0.5 µm 或更大尺寸的顆粒數量。該標準還允許插值,因此可以描述例如“2000 級”。
離散粒子計數、光散射儀器用於確定指定採樣位置處等於或大於指定尺寸的空氣傳播粒子的濃度。
小數字是指 ISO 14644-1 標準,該標準指定每立方米空氣中允許的 0.1 µm 或更大顆粒數的十進制對數。因此,例如,ISO 5 級潔淨室/無塵室最多有 105 個顆粒/m3。
FS 209E 和 ISO 14644-1 都假定顆粒大小和顆粒濃度之間的對數關係。因此,不存在零粒子濃度。沒有條目的表格位置是顆粒大小和清潔度等級的不適用組合,不應讀為零。
由於 1 m3 約為 35 ft3,因此在測量 0.5 µm 顆粒時,這兩個標準大部分是等效的,儘管測試標準不同。普通室內空氣約為 1,000,000 級或 ISO 9。
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