潔淨室/無塵室氣流需求

潔淨室通過使用採用層流或湍流氣流原理的 HEPA 或 ULPA 過濾器來保持無顆粒空氣。 層流或單向氣流系統將過濾後的空氣以恆定的氣流向下引導。 層流系統通常用於 100% 的天花板，以保持恆定的單向流動。 層流標准通常在便攜式工作站（LF 罩）中規定，並在 ISO-1 到 ISO-4 分類潔淨室中強制要求。

正確的潔淨室設計包括整個空氣分配系統，包括提供充足的下游空氣回流。 在垂直流動房間中，這意味著在區域周邊使用低壁空氣回流。 在水平流應用中，它需要在過程的下游邊界使用空氣回流。 使用天花板安裝的回風與正確的潔淨室系統設計相矛盾。天花板的照明燈具使用和安裝施工便尤其重要. 使用對的防水防塵燈具和氣密的安裝可預防不必要的粉塵原和對流.

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潔淨室/無塵室等級分類

潔淨室/無塵室按空氣的潔淨程度分類。在美國聯邦標準 209（A 至 D）中，測量一立方英尺空氣中等於和大於 0.5μm 的顆粒數，並以此計數對潔淨室進行分類。最新的 209E 版標準也接受了該度量命名法。聯邦標準 209E 在國內使用。較新的標準是來自國際標準組織的 TC 209。這兩個標準都根據實驗室空氣中發現的顆粒數量對潔淨室/無塵室進行分類。潔淨室/無塵室分類標準 FS 209E 和 ISO 14644-1 需要特定的粒子計數測量和計算來對潔淨室或潔淨區的潔淨度等級進行分類。在英國，英國標準 5295 用於對潔淨室進行分類。該標準即將被 BS EN ISO 14644-1 取代。

潔淨室/無塵室根據每體積空氣允許的顆粒數量和大小進行分類。 “class 100”或“class 1000”等大數字是指 FED_STD-209E，表示每立方英尺空氣允許的尺寸為 0.5 µm 或更大的顆粒數量。該標準還允許插值，因此可以描述例如“2000級。”

小數字是指 ISO 14644-1 標準，該標準規定了每立方米空氣中允許的 0.1 µm 或更大顆粒數的十進制對數。因此，例如，ISO 5 級潔淨室每立方米最多有 105 = 100,000 個粒子。

FS 209E 和 ISO 14644-1 均假設顆粒大小和顆粒濃度之間存在對數關係。因此，沒有零粒子濃度這樣的東西。普通室內空氣約為 1,000,000 級或 ISO 9。

BS 5295 潔淨室/無塵室標準

ISO 14644-1 潔淨室/無塵室標準